| 技術專文 |
璦司柏電子的核心技術平台：陶瓷板上的薄膜微影製程(thin film & lithography process on ceramic substrate)
薄膜微影製程並不是全新的技術，在 IC業早就非常普遍。有了這個製程， 使得IC的線徑不斷地往更細的線徑挑戰，從微米級(um, 10-6m)到奈米級(nm, 10-9)。特性也愈做愈好。如果這麼好的製程，能用在被動元件上，是不是能做 出特別的元件呢？這樣的想法，在 20 年前就不斷被歐美日等先進國家所討論， 並且做了不少嘗試，証實了這樣的製程確實能創造出一些傳統被動元件所不易達 成的目標和特性，像整合型的被動元件(integrated passive component, IPD)，也就 是把電阻、電容及電感元件做在同一個基板或晶片上。或是利用薄膜製造出特性 非常好的材料…等等。但是蓋一個 IC廠動輒上百億，被動元件的產業規模難以支 撐這樣的製程，而且被動元件的單價不斷探底，以及 LTCC製程的發展，薄膜被 動元件製程因此在歐美日等國家逐漸陷入了泥沼之中而無法進展。但是它真的這 只能如此嗎？
11 年前進入被動元件這個行業後，就開始探尋薄膜微影製程能在被動元件 領域中做出什麼…
從薄膜微影製程的特性來看，薄膜製程可以使材料系統多樣化，只要能做成 靶材的材料，都可以選用。而微影製程則使得線路可以微小化。兩者結合應該可 以變化出很多的可能才對，為什麼不能普及化呢？難道一定要花那麼多資本才能 使用薄膜微影製程嗎？
這些年來，因為開發不同製程及元件的關係，大膽使用了薄膜微影製程並混 合了厚膜印刷製程及 PCB…等製程，創造了一條專屬於陶瓷基板使用的薄膜微影 生產線，這條生產線的設置成本，約為以往的 1/4，使得薄膜被動元件商品化逐 漸實現，並在市場上獲得迴響。
利用這套製程，這幾年來陸續製造出薄膜電阻，薄膜電流感測器，薄膜電感， 薄膜溫度測器，甚至保護元件如保險絲，靜電抑制器等等。同一條生產線，可以 製造出這麼多樣化的元件，應該是目前世界上僅有的生產線了。也因為如此多樣 化的產品使這條生產線的利用率提高，當然可以得到價格有競爭力的元件了。 其實上面所提的每個元件都是國內首創的，相當有原創性。
薄膜微影製程的硬體問題解決了，但… 難道有了相同的設備就能立即擁有這麼 多產品嗎？可惜不是的，這種生產線的製程及設計人才才是關鍵！每一種產品的 製程及特性量測都不一樣，要培養出這種多元件製程設計的人才至少要 5 年以上， 這樣的工程人才，國內寥寥可數。而且這樣的人才不見得只用錢就可以買得到。 璦司柏的設立，就是要提供一個環境，讓這些人才能結合在一起，自己創造出自 己適合的工作環境，當然也要發揮出最大的價值。璦司柏的想法，是希望提供一 個薄膜微影的平台，開放給所有有須要的合作夥伴，省卻製程設置和人才培育的 冗長時間，迅速反應市場須求而得到新產品。
當然，璦司柏的技術平台不只提供給被動元件的合作夥伴，最近的 LED 陶瓷 散熱基板須求量開始增加，我們也利用了這個技術平台為合作夥伴製作了一些樣 品。因為這個薄膜微影平台是為陶瓷基板所設計的，當然可以為有須要的 LED 業 者提供最好的製程服務。
但璦司柏的核心價值，還是一群有創造力，可以解決問題的人才。或許璦司 柏也可以視為製程的”軟體”，或提供”total solution”的公司吧。