| 技術專文 |
瑷司柏电子的核心技术平台：陶瓷板上的薄膜微影制程(thin film & lithography process on ceramic substrate)
薄膜微影制程并不是全新的技术，在IC业早就非常普遍。有了这个制程， 使得IC的线径不断地往更细的线径挑战，从微米级(um, 10-6m)到奈米级(nm, 10-9)。特性也愈做愈好。如果这么好的制程，能用在被动元件上，是不是能做 出特别的元件呢？这样的想法，在20 年前就不断被欧美日等先进国家所讨论， 并且做了不少尝试，证实了这样的制程确实能创造出一些传统被动元件所不易达 成的目标和特性，像整合型的被动元件(integrated passive component, IPD)，也就 是把电阻、电容及电感元件做在同一个支架或晶片上。或是利用薄膜制造出特性 非常好的材料…等等。但是盖一个IC厂动辄上百亿，被动元件的产业规模难以支 撑这样的制程，而且被动元件的单价不断探底，以及LTCC制程的发展，薄膜被 动元件制程因此在欧美日等国家逐渐陷入了泥沼之中而无法进展。但是它真的这 只能如此吗？
11 年前进入被动元件这个行业后，就开始探寻薄膜微影制程能在被动元件 领域中做出什么…
从薄膜微影制程的特性来看，薄膜制程可以使材料系统多样化，只要能做成 靶材的材料，都可以选用。而微影制程则使得线路可以微小化。两者结合应该可 以变化出很多的可能才对，为什么不能普及化呢？难道一定要花那么多资本才能 使用薄膜微影制程吗？
这些年来，因为开发不同制程及元件的关系，大胆使用了薄膜微影制程并混 合了厚膜印刷制程及PCB…等制程，创造了一条专属于陶瓷支架使用的薄膜微影 生产线，这条生产线的设置成本，约为以往的1/4，使得薄膜被动元件商品化逐 渐实现，并在市场上获得回响。
利用这套制程，这几年来陆续制造出薄膜电阻，薄膜电流感测器，薄膜电感， 薄膜温度测器，甚至保护元件如保险丝，静电抑制器等等。同一条生产线，可以 制造出这么多样化的元件，应该是目前世界上仅有的生产线了。也因为如此多样 化的产品使这条生产线的利用率提高，当然可以得到价格有竞争力的元件了。 其实上面所提的每个元件都是国内首创的，相当有原创性。
薄膜微影制程的硬体问题解决了，但… 难道有了相同的设备就能立即拥有这么 多产品吗？可惜不是的，这种生产线的制程及设计人才才是关键！每一种产品的 制程及特性量测都不一样，要培养出这种多元件制程设计的人才至少要5 年以上， 这样的工程人才，国内寥寥可数。而且这样的人才不见得只用钱就可以买得到。 瑷司柏的设立，就是要提供一个环境，让这些人才能结合在一起，自己创造出自 己适合的工作环境，当然也要发挥出最大的价值。瑷司柏的想法，是希望提供一 个薄膜微影的平台，开放给所有有须要的合作伙伴，省却制程设置和人才培育的 冗长时间，迅速反应市场须求而得到新产品。
当然，瑷司柏的技术平台不只提供给被动元件的合作伙伴，最近的LED 陶瓷 散热支架须求量开始增加，我们也利用了这个技术平台为合作伙伴制作了一些样 品。因为这个薄膜微影平台是为陶瓷支架所设计的，当然可以为有须要的LED 业 者提供最好的制程服务。
但瑷司柏的核心价值，还是一群有创造力，可以解决问题的人才。或许瑷司 柏也可以视为制程的”软体”，或提供”total solution”的公司吧。